【摘 要】
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采用射频磁控溅射法制备了Mn掺杂ZnO(Zn_(1-x)Mn_xO,其中x=0,0.03,0.06)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)和超导量子干涉磁强计(SQUID)对薄膜
【机 构】
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中山大学物理学院,中山大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61176010,61172027)
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采用射频磁控溅射法制备了Mn掺杂ZnO(Zn_(1-x)Mn_xO,其中x=0,0.03,0.06)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)和超导量子干涉磁强计(SQUID)对薄膜结构和磁性能进行了研究。XRD和Raman研究表明,不同浓度Mn掺杂ZnO薄膜均为ZnO的六角纤锌矿结构,并沿(002)晶面择优取向,未检测到Mn以及与Mn相关的氧化物杂相。随着Mn掺杂浓度的增大,薄膜的结晶质量下降,晶粒尺寸减小。AFM研究结果与XRD和Raman结果相一致。SQUID测量
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