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采用高功率脉冲磁控溅射法在Si和高速铜基底上制备类石墨（Graphite—likecarbon，GLC）非晶碳膜，研究了基底偏压对薄膜微观结构、机械性能和摩擦学性能的影响．结果表明：随着基底偏压的增大，GLC薄膜sp。键含量先减小后增大，在基底偏压为-100V时达到最小值；薄膜的硬度和弹性模量先增大后减小，表面粗糙度先减小后增大；GLC薄膜的摩擦学性能与其机械性能和表面粗糙度密切相关，在基底偏压为-100V时，薄膜的平均摩擦系数最小．