弹性反冲探测技术在材料分析中的应用

来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangduanhua870505

【摘要】

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利用HI-13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析.用△E-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其

【作者】

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路秀琴符长波周平郭继宇赵葵李淑媛刘建成倪嵋楠

【出处】

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原子能科学技术

【发表日期】

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2004年z1期

【关键词】

：

弹性反冲探测 △E-E望远镜探测器深度分辨 elastic recoil detection ΔE-E(PSD) telescope depth reso

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(19775067),IAEA资助国际合作项目(CPR11314)

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利用HI-13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析.用△E-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30 nm.用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力.

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