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简要介绍了光刻技术的发展和得到更小线宽的途径.详细介绍了不同光刻技术下光刻胶的发展.基于中国光刻胶的发展现状,提出了加快光刻胶开发与应用的建议.
集成电路制造用光刻胶发展现状及挑战
【摘 要】
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简要介绍了光刻技术的发展和得到更小线宽的途径.详细介绍了不同光刻技术下光刻胶的发展.基于中国光刻胶的发展现状,提出了加快光刻胶开发与应用的建议.
【机 构】
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北京科华微电子材料有限公司,北京101312
【出 处】
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精细与专用化学品
【发表日期】
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2021年2期
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