论文部分内容阅读
<正>亚波长光刻当集成电路产业在1999年开始跨进0.18um特征尺寸阶段时,它也就进入了光刻工艺技术的亚波长时期。在此时期领先的集成电路制造商生产的器件,其特征尺寸短于光刻爆光的光波波长。正如图1所示,0.18um和0.13um这两代工艺技术由于种种
亚波长光刻技术与IC设计
【摘 要】
：
<正>亚波长光刻当集成电路产业在1999年开始跨进0.18um特征尺寸阶段时,它也就进入了光刻工艺技术的亚波长时期。在此时期领先的集成电路制造商生产的器件,其特征尺寸短于光刻
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
：
2003年08期
其他文献
在金融全球化和我国积极转变经济发展方式的趋势下,国内银行业也发生着深刻变化,零售业务逐渐成为行业竞争的重要领域。本文从客户营销、产品的开发与创新、产品的分销渠道与
在中国画中关于水的运用是必不可少的,利用水可以做出非常丰富的墨色变化。中国画中的积水法也是在水的作用下,产生出的一种较为特殊的效果。传统的写意国画中用到的湿画法、
被称为企业各项工作的生命线的企业思想政治工作,对保证企业的经营方向和调动职工的积极性发挥着重要作用,企业文化建设对于加强企业管理水平,促进企业生存发展具有积极作用,
21世纪是信息时代、网络时代,如何有效利用信息是我们主要关心的问题.文章主要从目前的信息环境和存在的问题出发,提出了提高信息资源利用率的有效途径.
太阳能热发电技术是将太阳能转化为热能,然后利用热力循环的方法带动发电机发电的热发电技术的简称,是太阳能的高品位利用方式。本文总结了我国在太阳能热发电研究领域的总体
基于学生的问题进行教学,是自读课的基本要求。在自读课中,教师首先要善于引导学生发现问题,提出问题,还要引导学生对问题进行梳理归类,并且指导学生尝试自己解决问题。这样
堆取料机是现代化大型工厂内贮运料场不可或缺的一种具备连续作业并且高效率的散料装卸机械设备。本文主要介绍一下近几年来新技术在堆取料机电气系统中的发展及应用。
基于BIM技术,就其在高层混凝土建筑工程设计过程中的具体应用进行了剖析,分析了其存在的问题,并深入的研究了其在结构设计中应该使用的措施。伴随不断加快的城市化高层混凝土
目的探讨特殊疾病的国际疾病分类方法。方法对一例“输尿管石街”病例的编码过程进行分析。结果此疾病虽然是由于体外冲击波碎石治疗后引起的,但其本质是输尿管结石,应编码在
随着我国经济水平的发展,建筑业也在不断地完善、发展,当前我国主要发展乡村山区,全力建设偏远地区的高速公路。山区的公路线形与地质条件都会影响建筑技术,并且对路基的要求