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原子团离子在AlxGa1—xAs基体组分SIMS定量分析中的应用
原子团离子在AlxGa1—xAs基体组分SIMS定量分析中的应用
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunhaifeng112
【摘 要】
:
通过检测原子团离子MCs^+和MAs^-(M是基体元素)对AlxGa1-xAs基体组分进行了定量的分析,考虑了MIQ=156SIMS上所测迷些原子团离子的能量分主其对分析结果的影响,并对正、负SIMS,测量方法做出比较。
【作 者】
:
姜志雄
王佑祥
【机 构】
:
清华大学电子工程系,中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
二次离子质谱
基体组分
定量分析
原子团离子
Secondary ion mass spectrometry
Al_xGa_(1-x)As
Matrix c
【基金项目】
:
国家自然科学基金!69376006
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通过检测原子团离子MCs^+和MAs^-(M是基体元素)对AlxGa1-xAs基体组分进行了定量的分析,考虑了MIQ=156SIMS上所测迷些原子团离子的能量分主其对分析结果的影响,并对正、负SIMS,测量方法做出比较。
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