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微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究
微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hu_411102992
【摘 要】
:
介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计,对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm),并且在薄膜的两面都制作了图形结构,拓展了
【作 者】
:
朱俊华
周兆英
叶雄英
张大成
郝一龙
李婷
【机 构】
:
清华大学精密仪器系,北京大学微电子学研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
微机械
磁强计
隧道效应
设计
加工工艺
MEMS
magnetometer
electron tunneling
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介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计,对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm),并且在薄膜的两面都制作了图形结构,拓展了微机械工艺的加工能力
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