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运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径ф360 mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形.结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8 μm、表面粗糙度为Ra7.8 nm的高质量碳化硅球面镜.
碳化硅轻量反射镜的超精密加工
【摘 要】
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运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径ф360 mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形.结合在线面形测量和基于误差补偿
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室,理化学研究所素形材工学研究室
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2005年11期
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