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三氟丙基甲基二氯硅烷是合成氟硅橡胶和氟硅油等氟硅产品的重要单体。氟硅橡胶具有优良的耐油、耐溶剂、耐化学药品性能及良好的耐寒和耐热性，兼具硅橡胶和氟橡胶的优异性能，是目前惟一能在68—230℃的润滑油和燃油介质中使用的橡胶材料，广泛用于飞机、火箭、导弹、宇宙飞船及石油化工等领域。氟硅油具有优异的耐溶剂和耐化学试剂，以及润滑、脱模、消泡及抗污性能，广泛应用于织物的憎水、憎油、防污。整理及化妆品、耐溶剂、高效消泡剂等方面。工业上用3，3，3-三氟丙烯与甲基二氯硅烷在均相铂系催化剂作用下制得3，3，3一三氟丙基甲