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采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术在蓝宝石衬底上制备出晶体质量较好的透明导电的ZnO/Au/ZnO（ZAZ）多层膜,其中,Au夹层是通过射频磁控溅射的方法获得。通过对Au夹层进行不同温度的退火处理,研究了Au层退火温度对ZAZ多层膜的结构特性、电学性能和光学特性的影响。利用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）仪、霍尔效应测试和透射谱分析等测试手段对ZAZ多层膜的性质进行了分析。测试结果表明,在200℃下对Au夹层进行快速退火处理,多层膜的结构、电学和光学性质达到最