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本文设计并制作一种非接触式的光学精密尺寸测量系统。系统采用TCD1501D线阵CCD作为测量传感器,使用FPGA产生相应时序驱动CCD,STM32控制器通过数据采集和处理来实现高精度的实时测量。系统测试表明该CCD测量系统能实现微米到厘米量级尺寸的测量,测量的精度达微米级。该系统可以广泛用于各类较小尺寸的精密测量。