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Tegal获得了来自某MEMS传感器量产制造商的订单，订购Tegal DRIE3200多模块族群设备。该Tegal DRIE3200设备于2009年第二季度发货，利用该设备客户即刻可极大提高MEMS传感器HVM的产量，便于2009年内推出其传感器新品。该Tegal DRIE3200设备是一款高密度等离子刻蚀系统，内置感应耦合等离子体刻蚀反应器和等离子体磁约束装置。