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液态金属离子源(LMIS)的亚微米聚焦离子束(FIB)在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法;并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果,包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节,在束能13keV,束流1.0nA时,FIB束斑在亚微米范围。