论文部分内容阅读
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面，在低气压成核的条件下。以丙酮和氢气为反应物，采用传统的热丝辅助化学气相沉积法，制备了自支撑金刚石膜；通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面，形成氧化锌／自支撑金刚石膜结构．通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌．研究结果表明：成核期的低气压有助于提高成核密度，成核面表面粗糙度约为1．5nm；拉曼光谱显示1334cm^-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应，成核面含有少量的石墨相，且受到压应力的作用；ZnO