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为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）的内在机理，将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面，改变激光能量和脉冲数目，在大气背景下进行实验，照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜（SEM）、3维形貌分析仪、x射线光电子能谱（XPS）等手段进行分析。SEM测试表明，在刻蚀区域出现孔状结构，说明刻蚀过程中有气体成分产生。XPS测试表明，激光照射后C1S峰的强度减弱而O1S峰增强，据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉目空气中的O2参与了反应。另外还研究了激光能量和脉冲数目