薄膜厚度测量的量程扩展

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songfeng816
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
目前,国内外生产的大多数膜厚控制仪,在表盘的应用上大致分为两类:一类是调零时使表针停在表盘的中间位置,表针每挡的行程为表盘满刻度的一半;另一类是调零时使表针调在零点,表针每挡的行程为表盘的满刻度。测量精度优于1%。我们试制的膜厚控制仪——双晶体膜厚控制仪,表针每挡行程为表盘满刻度的二倍。经电子工业部召开的全国鉴定会议认为,该仪表使用精度高,重复精度好,能满足生产需 At present, most of the thickness control instruments produced at home and abroad can be roughly divided into two types in the application of the dial: one is to stop the dial in the middle of the dial when zeroing, and the travel of each dial is half the dial full scale ; The other is to adjust the zero when the needle is adjusted to zero, the needle table for each stroke of the dial full scale. Measurement accuracy better than 1%. Our trial of the thickness control device - dual-crystal film thickness control device, the needles of each stroke of the dial full scale twice the scale. The Ministry of Electronics Industry held a national appraisal meeting that the high accuracy of the instrument, repeat accuracy, to meet the needs of production
其他文献
本文根据十年来大凌河在枯、丰、平三个水期,主要排污口细河、人工河、夹板河和凌海化工化肥厂四个断面的CODCr与BOD5的监测值,利用最小二乘法求出二者具有较好的线性相关性.
济南的泉水来源于南部山区,为恢复泉水常年喷涌,进行南部山区水源涵养能力分析具有重要意义.本文应用GIS、RS和实验调查等方法,通过南部山区植被与土壤等水源涵养能力的分析,
兰州石化合成橡胶厂75#循环水场采用AEC非有机磷系循环水处理新技术以后,使循环水的浓缩倍数由2.9上升到6.18左右,系统补水从原来的29t/h下降到24t/h,在循环水系统的腐蚀和结
会议
本文通过生物监测的方法,论述了浑河上游三条河系中底栖无脊椎动物EPT的物种数、频次、密度、分布和群落结构等特点及其与环境因子的关系.应用EPT指数反映EPT动物群与水质变
海洋是人类可持续发展的重要基地,是人类未来的希望,开发利用海洋是解决当前人类社会面临的人口膨胀、资源短缺和环境恶化等一系列难题的极为可靠的途径.然而要想驾驭海洋,就
会议
本文通过对催化裂化催化剂生产工艺过程用水的分析,结合装置实际情况,将部分工序用水水质降低,采用下工序废水代替新鲜水回用,提高水重复利用率,有效降低了催化剂生产过程的
本文主要介绍了莱钢焦化厂A-A-O法生物脱氮工艺的原理、流程、控制参数和处理效果,并指出了存在问题及改进方向.
本文采用Fenton试剂降解含甲基橙染料的模拟废水,考察了反应时间、pH值、Fenton试剂浓度以及染料初始浓度等因素对甲基橙降解率的影响.研究表明:当溶液初始pH为3、H2O2和Fe2+
ES-2420反射地震仪是美国EG & G Geometrics公司研制成功的一种新型的带微处理机的高性能反射地震仪。该仪器设计新颖、结构独特、工作稳定、性能较好,适用于浅层或中深层地
@@推进清洁生产就是企业走科技含量高、经济效益好、能源消耗低、环境污染少、绿色GDP增长快的新型工业化道路。结合《清洁生产促进法》对清洁生产的规定,水煤浆是替代直接燃