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SiyOx薄膜的制备方法与应用研究
SiyOx薄膜的制备方法与应用研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong539
【摘 要】
:
利用SiO升华的反应蒸发技术制备了SiyOx薄膜,并将它成功地应用于半硬冷光膜。讨论了真空度、蒸镀速率及后期处理工艺对SiyOx薄膜折射率的影响。
【作 者】
:
朱自强
高光义
高光义
【机 构】
:
四川大学光电科学技术系,国营成都灯泡厂
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1994年5期
【关键词】
:
真空镀膜
冷光镜
硅氧化物
氧化硅
薄膜
Vacuum coating
Cold mirror
Oxide of silicon
【基金项目】
:
国家轻工业科学技术发展基金
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利用SiO升华的反应蒸发技术制备了SiyOx薄膜,并将它成功地应用于半硬冷光膜。讨论了真空度、蒸镀速率及后期处理工艺对SiyOx薄膜折射率的影响。
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