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本文提出对不透明物体双面图形相对位置进行测量的几种不同方法，并讨论了提高测量精度的措施。实验表明最大测量误差为８μｍ。
不透明物体双面图形相对位置的测量
【摘 要】
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本文提出对不透明物体双面图形相对位置进行测量的几种不同方法，并讨论了提高测量精度的措施。实验表明最大测量误差为８μｍ。
【机 构】
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国家质量技术监督局
【出 处】
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钟表
【发表日期】
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1998年2期
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