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并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量，从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理，综述了用于并行共焦的并行光源技术，分析了这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果，重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件（DMD）产生并行光源的新方法。分析和研究了DMD的空间光调制机理，最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统。