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微水导激光划片工艺原理及应用
微水导激光划片工艺原理及应用
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:poloya
【摘 要】
:
从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原
【作 者】
:
王宏智
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年03期
【关键词】
:
微水导激光
光液耦合
划切
微水柱
热熔效应
超薄晶圆
Low-K介质层
LED衬底
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从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进行了总结和展望。
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