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针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子,对其悬臂梁的两种结构--蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析,推导出应力和位移的计算方法,据此从理论上阐述了在实际中多用直脚型结构的原因.得出了比国外文献更符合实际情况的分析结果.
静电梳微谐振子结构的力学分析
【摘 要】
：
针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子,对其悬臂梁的两种结构--蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析,推导出应力和位移的计算方法,据此从理论上阐述了在实际中多用直
【机 构】
：
上海大学,上海,200072苏州大学,苏州,215021;
【出 处】
：
机械科学与技术
【发表日期】
：
2000年5期
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