【摘 要】
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中频感应加热单晶炉生长晶体一般采用铱-铱铑热电偶测温,通过3504过程控制器控制电源输出功率实现自动控温,但生产实践中往往出现热偶测温点松动、断裂以及冷点漂移等诸多问
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中频感应加热单晶炉生长晶体一般采用铱-铱铑热电偶测温,通过3504过程控制器控制电源输出功率实现自动控温,但生产实践中往往出现热偶测温点松动、断裂以及冷点漂移等诸多问题使炉温波动而严重影响生产的进行,本文介绍了采用中频电源功率模拟量控制的方法,能够避免上述情况的发生,有效的提高了晶体的生长质量和效率。
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