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提高金刚石膜电阻率的几种方法
提高金刚石膜电阻率的几种方法
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dragonlztf
【摘 要】
:
金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响,在沉积后的金刚石膜的电阻率比较低,还达不到实用要求,需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法,并
【作 者】
:
李敬起
孙亦宁
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
金刚石薄膜
电阻率
后处理
退火
Diamondfilms
Resistivity
Posttreatment
Anneal.
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金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响,在沉积后的金刚石膜的电阻率比较低,还达不到实用要求,需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法,并对其优缺点眯进行了比较。
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