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文章分析台柱型底座倾角和尺寸对微盘谐振器中回音壁模式的影响。首先,确立了计算模型的结构和参数。然后,用三维有限时域差分法计算了氮化硅微盘底座倾角和微盘底座高度对回音壁模式特性的影响。仿真结果表明:台柱倾角对模式谐振波长没有影响,仅在时会降低模式Q值;底座高度较小时,引起模式谐振波长变化和Q值降低。在制备微盘谐振器时,应保证台柱形底座的倾角小,底座高度足够高。