【摘 要】
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提出了一种新型的基于可编程MEMS（micro-electro-mechanical systems）微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪。该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的
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提出了一种新型的基于可编程MEMS（micro-electro-mechanical systems）微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪。该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统。理论分析了该光谱仪的工作原理,并进行了计算机仿真,验证了该方法的可行性。结果表明,该光谱系统能够准确地还原光谱信息,其光谱分辨率在近红外区域小于5nm,波长准确性约1nm,系统理论上的信号采集周期约50ms。适合于利用阿达玛变换提高信噪比,可应用于微量物质检测。
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