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使用脉冲激光沉积技术在不同氦压下制备了系列无氢类金刚石薄膜，测量了样品的Raman光谱、光吸收光谱和光致发光光谱，采用原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌，研究了薄膜的微结构和光学性质与制备条件的依赖关系．结果表明，该薄膜是由sp^2和sp^3杂化碳原子组成的非晶碳膜．薄膜的光学带隙在1．45～1．78eV．薄膜的发光在可见光区呈宽带结构，氦压能够对类金刚石薄膜的结构和光学性质产生较大影响．当氦压从0．05Pa升高至15Pa时，sp。团簇变大，带尾态增多，从而导致薄膜的发光增强，光学带隙变窄，发光峰位红移．A