【摘 要】
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球面透镜的透射波前畸变是影响激光驱动器光束质量的重要参数.采用移相干涉仪检测球面透镜波前畸变时,测量结果的精度受限于标准球面镜头和后置平面反射镜的精度.然而,现有的
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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球面透镜的透射波前畸变是影响激光驱动器光束质量的重要参数.采用移相干涉仪检测球面透镜波前畸变时,测量结果的精度受限于标准球面镜头和后置平面反射镜的精度.然而,现有的绝对检测技术仅适用于反射元件.为了满足球面透镜波前畸变的高精度检测需求,提出了一种适用于球面透镜透射波前的绝对检测方法：三位置一平移相减法.详细介绍了三位置一平移相减法的原理,对其进行了模拟仿真和实验验证.仿真结果显示：三位置一平移相减法的仿真误差为10nm-13nm,达到高精度测量的理论要求;实验结果表明：三位置一平移相减法可以有效地减小前标
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