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基于多晶硅的化学气相沉积技术与工艺，运用计算流体力学（cFD）的气体运动的组分运输和表面反应动力学模型，NAnsys—F1uent对多晶硅的生长过程进行模拟计算，运用有限元应力分析（FEA）方法，对复杂设备结构进行热应力计算和强度安全性校核，研发并设计一系列大型高产能、低能耗的多晶硅反应器。该系列的反应器广泛应用于国内外多晶硅生产线，产能达500t／a，能耗低至45kW／kg。