论文部分内容阅读
由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点，MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视，基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理，包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器。讨论了各种技术的优势和应用局限性，指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向。