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本文对光学扭簧原理在超精测试技术上的应用前景进行了分析;提出了0.1微米光学扭簧计的设计方案;特别是导出了计算高精度测量用扭簧参数的理论公式,具有普遍意义。对三台样机的实际鉴定数据进行了分析;指出光学扭簧技术可达到±0.03微米左右的精度,这接近于干涉仪上λ/20的精度
光学扭簧理论及其应用
【摘 要】
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本文对光学扭簧原理在超精测试技术上的应用前景进行了分析;提出了0.1微米光学扭簧计的设计方案;特别是导出了计算高精度测量用扭簧参数的理论公式,具有普遍意义。对三台样机
【出 处】
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浙江大学学报
【发表日期】
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1982年02期
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