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通过直流辉光放电光谱分析硅钢样品的光谱行为，考察放电电压、放电电流、预溅射时间和积分时间对光谱强度和稳定性的影响。以铁为内标元素，优化分析条件为放电电压1100V，放电电流50mA，预溅射时间45S，积分时间10S，建立直流辉光放电光谱法测定硅钢中11种元素的定量分析方法。考察方法的精密度和准确度，其中Si、Mn、Cr、Ni、Cu、Al、B、Ti的相对标准偏差（RSD）小于2％，C、S、P的相对标准偏差（RSD）小于4％，各元素的测定结果与认定值吻合。