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工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 17次 | 上传用户:ysw135
【摘 要】
:
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求
【作 者】
:
李妍君
李颖
吴丁民
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043,沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043,沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2000年02期
【关键词】
:
工业
变送器
传感器
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介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求
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