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误差补偿是提高机械加工精度的有效途径，在分析测试数控直线电机进给定位精度的基础上，提出基于最小二乘支持向量机的直线电机进给定位精度误差回归建模和预测方法。最小二乘支持向量机具有完备的统计学习理论基础和学习功能，它用核函数建立预测模型，再用已知数据为学习样本训练学习机，用检验样本进行验证、预测系统未来误差。采用径向基核函数的最小二乘支持向量机对不同速度加速度下的定位误差进行了预测，并进行误差补偿。研究结果表明，采用LSSVM的方法可以较大地提高直线电机进给的定位精度。