【摘 要】
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可靠性筛选是提高电子产品良率的重要技术手段。针对绝缘体上硅（SOI）技术日益广泛的应用,通过大量实验研究了SOI电路的常用筛选试验,并对失效样品进行了相应的失效机理研究。首
【机 构】
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轻工过程先进控制教育部重点实验室,中国电子科技集团公司第58研究所
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可靠性筛选是提高电子产品良率的重要技术手段。针对绝缘体上硅（SOI）技术日益广泛的应用,通过大量实验研究了SOI电路的常用筛选试验,并对失效样品进行了相应的失效机理研究。首先讨论了SOI电路失效模式和筛选方法之间的关系;其次,针对三款SOI电路分别开展了老炼应力、高温贮存及恒定加速度试验来进行可靠性筛选;最后,利用光发射显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束和激励源诱导故障测试等失效分析手段,对失效样品进行了失效模式及机理分析,揭示了失效根源,为改进工艺、提高SOI电路可靠性提供了依据。
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