【摘 要】
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文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2／VO2双层薄膜，并在Ar气中进行退火。用x射线衍射仪、扫描电镜、紫外一可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体
【基金项目】
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国家973计划资助项目（2008CB717802）,安徽省自然科学基金资助项目（090414182,11040606M63）,安徽省高校自然科学基金资助项目（KJ2009A091）和合肥工业大学国家级大学生创新性实验计划资助项目（101035914）
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文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2／VO2双层薄膜，并在Ar气中进行退火。用x射线衍射仪、扫描电镜、紫外一可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形貌、可见光透过率、电阻一温度特性进行测试。结果表明，TiO2／VO2双层薄膜的相变温度降低到56℃，电阻温度系数为-1．087／℃，可见光透过率提高了20％-30％，且薄膜生长致密均匀。
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