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应用于真空镀膜设备的视窗失效分析及改进方案
应用于真空镀膜设备的视窗失效分析及改进方案
来源 :装备制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tdwh14226
【摘 要】
:
对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了
【作 者】
:
吕国振
郝伟
王志海
【机 构】
:
三一海洋重工有限公司
【出 处】
:
装备制造技术
【发表日期】
:
2021年1期
【关键词】
:
视窗
光电传感器
镀膜材料
透光率
viewing window
photoelectric sensor
coating material
light tra
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对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了一种改进方案并应用于实践,取得了显著的改善效果。
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