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对JJG28-2000《平晶检定规程》中以等厚干涉法检定Φ100mm平面平晶工作面平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度。
平行平晶平面度测量结果的不确定度评定
【摘 要】
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对JJG28-2000《平晶检定规程》中以等厚干涉法检定Φ100mm平面平晶工作面平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度。
【机 构】
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内蒙古自治区计量测试研究院
【出 处】
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内蒙古科技与经济
【发表日期】
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2015年3期
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