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叙述了金刚石薄膜在大气中和在含有少量氢的真空条件下的机械抛光方法。金刚石薄膜在常温的空气中进行机械抛光时，７０ｈ后金刚石薄膜的表面粗糙度由ＲＺ＝７．７９μｍ降为ＲＺ＝０．４３μｍ。在真空加入少量氢气。当温度为８００℃时，其抛光速度由低温的０．０７μ，／ｈ上升到０．１２μ，／ｂ，被抛光的表面粗糙度可达到０．０１μｍ。