四氯化钛与氨气的气相反应过程及其产物氮化钛的特性

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气态TiCl4与NH3反应,在200℃时生成TiCl55NH3;250-400℃时生成TiCl.5NH3,TiClN和NH4Cl;400℃时生成TiNx,NH4Cl和HCl。在形成的TiNx原子比XD 700℃时为1.21,800℃时为1.16,900℃时为1.13,1000℃以上时为1.10。
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