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真空蒸馏是高纯碲制备过程中重要的中间提纯方法，其提纯效果的优劣直接影响到产品Ｔｅ的纯度，本文分析了真空蒸馏过程中Ｔｅ和杂质的蒸汽压及蒸发速度差异而使两者分离的理论基础，并与实验结果相比较，存在提纯效果偏低状况，因此探讨碲真空器蒸馏过程技术条件参数及杂质行为，状态对碲与杂质分离效果影响，为高纯碲制备工艺的改进提供依据。