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用沟道产额角分布技术研究硅中超固溶度激活杂质的失活机理
用沟道产额角分布技术研究硅中超固溶度激活杂质的失活机理
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eimayao
【摘 要】
:
用快速热退火技术可以获得很高的、超过杂质在硅中固溶度的亚稳态载流子浓度。但是,超固溶度杂质的失活会引起亚稳态载流子浓度的弛豫。本文应用RBS沟道产额角分布技术分析了
【作 者】
:
徐立
钱佩信
【机 构】
:
PekingUniv
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1993年8期
【关键词】
:
硅
固溶度
激活杂质
失活机理
退火
ArsenicImpuritiesIon implantation
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用快速热退火技术可以获得很高的、超过杂质在硅中固溶度的亚稳态载流子浓度。但是,超固溶度杂质的失活会引起亚稳态载流子浓度的弛豫。本文应用RBS沟道产额角分布技术分析了失活杂质原子在硅晶格中的定位情况,进而从这些晶格定位的实验结果出发,讨论了硅中超固溶度激活杂质的失活机理。
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