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本文对各种用于ＲＥＡ的硅材料作了说明，并对它们作了比较，还介绍了硅型ＦＥＡ的一些新制作方法。
用于FED的硅材料及其制作
【摘 要】
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本文对各种用于ＲＥＡ的硅材料作了说明，并对它们作了比较，还介绍了硅型ＦＥＡ的一些新制作方法。
【机 构】
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华东电子集团公司
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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2000年3期
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