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质谱计在分析样品气体时,常采用峰高相减法来扣除本底残气的干扰,该法不十分准确,特别是作痕量杂质分析时会引起很大误差;本文提出一种新的扣除法,称作样品增量法。改变样品进样量,然后根据各成分对应离子流的增量,计算出它们的相对浓度。由于本底残气的离子流增量为零,故而消除了残气的干扰。论文首次报导了封闭离子源独有的样品气流的喷口效应,造成了电离室内本底残气压强低于质谱室中值,采用本底残气抑制系数解出了样品杂质的真实值。