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为了研究紫外脉冲激光预处理对熔石英表面形貌的影响，验证其对熔石英元件抗紫外激光损伤能力的提升效果，利用输出355nm3倍频紫外脉冲激光的YAG激光器，采用光栅式扫描的方式对熔石英表面进行了全口径能量周期递增的激光预辐照处理，并在处理结束后研究了表面形貌的变化，考核了其在355nm脉冲激光作用下的损伤阈值。结果发现，石英基片在经过紫外脉冲激光预处理后表面杂质得到有效清除并暴露了低阈值缺陷，处理后的石英基片零几率损伤闽值平均提高24％左右，50％损伤阈值提高约19％。结果表明，紫外激光预处理是增强熔石英元件紫