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本文介绍了用多齿分度台检测小度盘的刻线位置误差及其数据处理方法。对检测结果的可靠性进行了分析与估算。
用多齿分度台检测小度盘的刻线位置误差
【摘 要】
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本文介绍了用多齿分度台检测小度盘的刻线位置误差及其数据处理方法。对检测结果的可靠性进行了分析与估算。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所成都,610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1992年1期
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