论文部分内容阅读
在TFT-LCD的生产过程中,阵列金属被腐蚀是造成TFT-LCD产品缺陷（亮线、薄亮线等）的常见原因。文章对实际生产过程中阵列基板的一种典型腐蚀性缺陷,应用扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）和能谱仪（EDS）等工具,并且结合BO（Business Objects）、CIM（Computer Integrated Manufacturing）等数据统计软件进行了分析。确定了造成缺陷的原因是栅金属暴露在含氯元素的酸性气体中被腐蚀,还确定了酸性气体的泄露源,并且推断出其形成机理：腐蚀发生在栅金属刻蚀