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采用化学溶液沉积（CBD）法在3种不同衬底上生长ZnO纳米棒阵列,并利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和光致发光（PL）谱研究纳米棒的结构、形貌和光学特性.结果表明：产物均为ZnO纳米棒状结构且均匀分布在衬底上,其中在氧化铟锡（ITO）导电玻璃衬底和玻璃衬底上生长的ZnO结晶质量优于在硅衬底上生长的样品,而纳米棒在玻璃衬底上的覆盖密度最大且取向均一;在Si衬底上生长纳米棒的发光性能最好;3个样品的紫外峰位均发生微小移动,这是由于纳米棒尺寸不同导致应力发生变化所致.