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<正> 21世纪是高科技迅速发展的时代,信息产业的飞速发展是有目共睹的。而以超大规模集成电路为核心的微电子技术,作为信息产业的核心,更是现代高新技术的象征和基石。作为微电子技术最重要的基础材料,半导体以其制备技术日新月异的进步推动着信息技术和社会的发展。在信息产业的发展水平已经成
发展中的西安理工大学工厂
【摘 要】
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<正> 21世纪是高科技迅速发展的时代,信息产业的飞速发展是有目共睹的。而以超大规模集成电路为核心的微电子技术,作为信息产业的核心,更是现代高新技术的象征和基石。作为微
【机 构】
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西安理工大学工厂厂长
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年8期
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