Raman Back-scattering study of Damaged and Strain Subsurface Layers in GaAs Wafers

来源 :稀有金属（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：nian11

【摘要】

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The damaged and strain subsurface layers of semi-insulating(SI) GaAs substrate were characterized non-destructively by Raman back-scattering.The study shows tha

【作者】

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Zhang Fengyi Tu Hailing Qian Jiayu Wang Yonghong Song Ping Wang Jing

【机构】

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National Engineering Research Center for Semiconductor Materials,General Research Institute for Non-

【出处】

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稀有金属（英文版）

【发表日期】

：

2000年3期

【关键词】

：

Damaged and Strain layers Raman back-scattering GaAs wafer

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The damaged and strain subsurface layers of semi-insulating(SI) GaAs substrate were characterized non-destructively by Raman back-scattering.The study shows that the thicknesses of the damaged and strain layers are less than 3μm.The damaged and strain layer can be removed after being etched in H2SO4·H2O2·H2O for 1.5 min.

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