【摘 要】
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氮化硼片做为硼源,美国于1968年开始研制使用氮化硼片,日本于1970年开始研制使用。我国1976年才开始采用了建材院生产的氮化硼片,改进了粉状氮化硼源的一些缺陷,改善了硼扩
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氮化硼片做为硼源,美国于1968年开始研制使用氮化硼片,日本于1970年开始研制使用。我国1976年才开始采用了建材院生产的氮化硼片,改进了粉状氮化硼源的一些缺陷,改善了硼扩散工艺。
Boron nitride film as a boron source, the United States started the development of boron nitride sheet in 1968, Japan began to develop in 1970 to use. In 1976, China started to use the boron nitride sheet produced by the Building Materials Institute to improve some defects of the powdery boron nitride source and improve the boron diffusion process.
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